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√100以上 レジスト レーション マーク 296691

モンストレーションを2つ示します.1 つ目は,図6に示したナノ・フィルタ です.試料は,PMMA (polymethylmethacrylate)と呼ば れるアクリル樹脂の微小球で,この材料 はEB照射によって変質するレジスト材 料でもあります.図2(c)の例のように,この場合の...
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